В методе роста давления откачанный объём изолируют от насоса и записывают изменение давления во времени. Результат характеризует суммарный газовый поток в этот объём.
Расчёт при стабильных условиях
Для постоянного объёма и практически неизменной температуры используют Q = V × Δp / Δt. Если V задан в м³, давление в Па, а время в секундах, результат получают в Па·м³/с. Объём включает присоединённые измерительные полости.
Что входит в измеренный поток
Рост давления может быть вызван утечками, десорбцией, испарением и выделением газа из материалов. Поэтому полученное значение нельзя автоматически приписывать только негерметичности. Нужны подготовка системы и оценка фонового газовыделения.
Выбор датчика и интервала
Ожидаемый прирост давления должен различаться на фоне погрешности, дрейфа и разрешения прибора. Больший объём при том же газовом потоке даёт более медленный рост давления. Сохраняйте кривую p(t), а не только две крайние точки.
Связанные модели
AGP21
ёмкостной плёночный вакуумметр
AGP21 - емкостный тонкопленочный вакуумметр для измерения давления в технологических процессах. Контактирующие со средой материалы рассчитаны на работу…
AGP3100
широкодиапазонный вакуумметр Пирани
AGP3100 - комбинированный вакуумметр Пирани серии AGP3 с датчиком абсолютного давления и чувствительным элементом MEMS. Предусмотрены цветной дисплей…
AGP4000
комбинированный вакуумметр (Пирани + холодный катод)
AGP4000 - комбинированный вакуумметр, объединяющий метод холодного катода для высокого вакуума и метод Пирани для низкого вакуума. Прибор…
Документация и подбор
Выбор вакуумметра · Измерение расхода · Техническая библиотека · Параметры для запроса
Справочный источник: Pfeiffer — газовые потоки и газовыделение в вакууме.