Многие вакуумные установки циклически переходят из рабочего вакуума в атмосферное давление при загрузке, вентиляции или аварийной остановке. После таких циклов датчик может показывать повышенное давление, медленно стабилизироваться или выдавать ошибку — это не всегда отказ прибора, но требует системной диагностики.
Что происходит при разгерметизации
- Адсорбция влаги и газов — на сенсоре и в микрорельефе корпуса; при следующей откачке происходит десорбция, имитирующая натекание.
- Конденсация — при вентиляции влажным воздухом на холодном сенсоре образуется вода, меняющая тепловой режим Пирани.
- Нагрузка на уплотнения — микроподсосы после многократных циклов влияют на абсолютные показания, но датчик отражает реальное давление в точке установки.
Порядок диагностики
После вентиляции дайте датчику время выйти на температуру окружающей среды. Выполните контрольный цикл откачки с записью кривой давления. Сравните время выхода на стабильное значение с эталонным графиком «здоровой» системы. Отключите датчик от системы и проверьте на отдельном вакуумном порту: если поведение повторяется — виновата среда или сенсор; если нет — ищите утечки и десорбцию в камере. Для цифровых моделей AGP считайте регистры статуса и счётчики ошибок по Modbus. Не рекомендуется оставлять тепловой сенсор под атмосферным давлением с включённым нагревом дольше, чем указано в эксплуатационной документации. При повторяющихся сбоях после циклов рассмотрите датчик с защитой сенсора, изменение схемы вентиляции сухим азотом или программную выдержку перед оценкой герметичности. ЛИКЛАБ помогает отличить нормальную десорбцию от неисправности прибора.
Для заказа, подбора модели, сервиса и технических консультаций свяжитесь с ЛИКЛАБ по телефону или e-mail.
Официальный представитель ASAIR в России — лаборатория контроля герметичности ЛИКЛАБ (ООО «Лаборатория ВАКТРОН»). Поставка вакуумметров AGP, расходомеров AFM/AFS, техническое обслуживание, сервис и консультации по подбору и эксплуатации.