После вентиляции вакуумной камеры на поверхностях может оставаться влага и адсорбированный газ. Следующий цикл откачки поэтому может отличаться от предыдущего без неисправности вакуумметра.
Сопоставьте условия циклов
Запишите время нахождения на атмосфере, использованный газ, температуру и состояние камеры. Сравнивайте кривые откачки при одинаковой конфигурации арматуры и насоса. Учтите новые материалы и следы очистки.
Проверьте измерительный узел
Исключите конденсат, загрязнение и повреждение уплотнений. Проверьте питание, кабель и статус прибора. Не выполняйте регулировку нуля в произвольной точке давления: условия для неё указаны изготовителем.
Если отклонение сохраняется
Сравните показания с контрольным прибором и проверьте герметичность соединений. При необходимости выполните проверку датчика на другом подготовленном узле. Поведение одного сенсора и состояние всей вакуумной системы оценивают раздельно.
Связанные модели
AGP21
ёмкостной плёночный вакуумметр
AGP21 - емкостный тонкопленочный вакуумметр для измерения давления в технологических процессах. Контактирующие со средой материалы рассчитаны на работу…
AGP3100
широкодиапазонный вакуумметр Пирани
AGP3100 - комбинированный вакуумметр Пирани серии AGP3 с датчиком абсолютного давления и чувствительным элементом MEMS. Предусмотрены цветной дисплей…
AGP4000
комбинированный вакуумметр (Пирани + холодный катод)
AGP4000 - комбинированный вакуумметр, объединяющий метод холодного катода для высокого вакуума и метод Пирани для низкого вакуума. Прибор…
Документация и подбор
Выбор вакуумметра · Измерение расхода · Техническая библиотека · Параметры для запроса