Измерение скорости натекания — основа оценки герметичности вакуумной системы. Метод заключается в отключении насосов, изоляции контролируемого объёма и анализе скорости изменения давления во времени. Вакуумметр фиксирует не «утечку в мм рт. ст.», а градиент давления, который пересчитывают в скорость натекания с учётом объёма и температуры газа.
Порядок измерения
- Доведите систему до стабильного рабочего или контрольного давления.
- Изолируйте объём запорной арматурой; убедитесь, что насос отключён и нет посторонних подпиток.
- Запишите давление p1 в момент t1 и p2 в момент t2 с достаточным разрешением датчика.
- Учтите объём V камеры, температуру газа и приведите результат к стандартным единицам (мбар·л/с, Па·м³/с) по принятой на предприятии формуле.
- Сравните с допуском на изделие или установку.
Выбор датчика
Для мягкого вакуума подходят датчики Пирани серии AGP с хорошим разрешением на нижней части шкалы. При малых натеканиях в глубоком вакууме может потребоваться более чувствительный прибор или комбинированный AGP4000. Важна стабильность показаний и малое собственное объёмное соотношение измерительного порта. Цифровая регистрация через Modbus упрощает построение графика p(t) в SCADA. Перед измерением минимизируйте десорбцию: прогрев, чистая сборка, выдержка после откачки. Повторяйте тест не менее двух раз для подтверждения воспроизводимости.
Для заказа, подбора модели, сервиса и технических консультаций свяжитесь с ЛИКЛАБ по телефону или e-mail.
Официальный представитель ASAIR в России — лаборатория контроля герметичности ЛИКЛАБ (ООО «Лаборатория ВАКТРОН»). Поставка вакуумметров AGP, расходомеров AFM/AFS, техническое обслуживание, сервис и консультации по подбору и эксплуатации.