Колебания показаний могут отражать реальные процессы в камере или изменение работы измерительного канала. Диагностика должна разделить эти причины.
Проверьте условия измерения
Запишите давление во времени вместе с температурой, состоянием клапанов и насоса. Учитывайте подачу газа, испарение остатков жидкости и десорбцию со стенок. Одно показание без контекста недостаточно для вывода об утечке.
Проверьте электрический канал
Сопоставьте индикацию прибора с данными ПЛК. Для аналогового выхода проверьте общий провод, нагрузку и функцию преобразования сигнала. Для цифрового — адрес, скорость обмена, формат данных и ошибки связи.
Сравните с контрольным прибором
Сравнение выполняют при сопоставимых давлениях в точках установки и стабильных условиях. Если расхождение сохраняется, проверьте загрязнение и обратитесь к руководству по диагностике. Изменять калибровку без установленной причины не следует.
Связанные модели
AGP21
ёмкостной плёночный вакуумметр
AGP21 - емкостный тонкопленочный вакуумметр для измерения давления в технологических процессах. Контактирующие со средой материалы рассчитаны на работу…
AGP3100
широкодиапазонный вакуумметр Пирани
AGP3100 - комбинированный вакуумметр Пирани серии AGP3 с датчиком абсолютного давления и чувствительным элементом MEMS. Предусмотрены цветной дисплей…
AGP4000
комбинированный вакуумметр (Пирани + холодный катод)
AGP4000 - комбинированный вакуумметр, объединяющий метод холодного катода для высокого вакуума и метод Пирани для низкого вакуума. Прибор…
Документация и подбор
Выбор вакуумметра · Измерение расхода · Техническая библиотека · Параметры для запроса