Тепловые вакуумметры, включая датчики Пирани серии AGP, измеряют не абстрактное «давление», а теплопроводность газа вблизи сенсора. Разные газы при одинаковом численном значении давления по-разному отводят тепло от нагретого элемента, поэтому показания зависят от состава среды.
Как проявляется газозависимость
- Воздух и азот — близки по теплопроводности в типичных диапазонах; для многих задач калибровка по воздуху приемлема.
- Аргон и гелий — теплопроводность отличается; показания Пирани потребуют поправочного коэффициента или перекалибровки.
- Водород — существенно влияет на тепловой режим; применение требует осторожности и учёта безопасности.
- Смеси и технологические газы — при смене состава в процессе шкала «плывёт» без смены калибровки.
Ёмкостные и комбинированные приборы
Ёмкостные вакуумметры AGP21 измеряют механическое давление на диафрагму и в меньшей степени зависят от вида газа в рабочем диапазоне. Комбинированные приборы AGP4000 автоматически переключают принципы измерения, расширяя диапазон, но инженер всё равно должен понимать, какой сенсор активен в текущей точке процесса. Для точных измерений состава при неизвестной смеси используйте резервный контроль (масс-спектрометр, контрольный датчик на инертном газе) или калибровку на рабочей среде. В документации ASAIR указывают рекомендации по газам; окончательное решение принимают исходя из допустимой погрешности технологии.
Для заказа, подбора модели, сервиса и технических консультаций свяжитесь с ЛИКЛАБ по телефону или e-mail.
Официальный представитель ASAIR в России — лаборатория контроля герметичности ЛИКЛАБ (ООО «Лаборатория ВАКТРОН»). Поставка вакуумметров AGP, расходомеров AFM/AFS, техническое обслуживание, сервис и консультации по подбору и эксплуатации.