Датчик Пирани оценивает давление по теплообмену между нагреваемым чувствительным элементом и газом. Электроника преобразует изменение теплового режима в показание давления.
Где применяется
Принцип используют для наблюдения за откачкой камер, технологическими циклами и состоянием вакуумной системы. Конкретный рабочий диапазон и погрешность задаются характеристиками модели, а не только названием измерительного принципа.
Газовая зависимость
Разные газы отводят тепло по-разному. При смене воздуха или азота на другой газ нужны рекомендации изготовителя, соответствующая калибровка либо разрешённый способ пересчёта. Для неизвестной смеси универсальный постоянный коэффициент может быть непригоден.
Что влияет на результат
Загрязнение чувствительного элемента, температура и условия монтажа могут менять теплообмен. Перед признанием прибора неисправным проверяют питание, газ, герметичность узла и состояние сенсора.
Связанные модели
AGP3000
вакуумметр Пирани с монитором
AGP3000 - вакуумметр Пирани серии AGP3 с датчиком абсолютного давления и чувствительным элементом MEMS. Прибор оснащен цветным дисплеем…
AGP3100
широкодиапазонный вакуумметр Пирани
AGP3100 - комбинированный вакуумметр Пирани серии AGP3 с датчиком абсолютного давления и чувствительным элементом MEMS. Предусмотрены цветной дисплей…
AGP3200
комбинированный вакуумметр Пирани
AGP3200 - комбинированный вакуумметр Пирани серии AGP3 с датчиком абсолютного давления и чувствительным элементом MEMS. Предусмотрены цветной дисплей…
Документация и подбор
Выбор вакуумметра · Измерение расхода · Техническая библиотека · Параметры для запроса