Датчик Пирани измеряет давление по теплопередаче от нагретой нити или тонкоплёночного элемента к окружающему газу. При снижении давления свободный пробег молекул увеличивается, теплоотвод падает, температура сенсора растёт — по этой зависимости строят шкалу вакуумметра. Датчики Пирани серии AGP широко применяются там, где нужен надёжный и экономичный контроль в области низкого и среднего вакуума.
Типичные области применения
- Вакуумные камеры и печи — контроль этапов откачки, выдержки и разгерметизации.
- Коатинг и напыление — мониторинг давления в рабочей камере до начала процесса.
- Контроль герметичности — оценка скорости падения давления при закрытой системе.
- Насосные агрегаты — индикация эффективности форвакуумного и высоковакуумного насосов.
- Лабораторные стенды — быстрая индикация вакуума без сложной калибровки на каждом газе.
Ограничения принципа
Пирани чувствителен к составу газа и перестаёт давать однозначную информацию в области, где теплопроводность среды слабо зависит от давления. Для процессов с агрессивными парами или частым попаданием масла рекомендуют защитные элементы и правильную ориентацию датчика. Если процесс выходит за рабочий диапазон теплового сенсора, целесообразно рассмотреть комбинированный вакуумметр серии AGP4000 или ёмкостный AGP21 на соответствующем участке диапазона.
Для заказа, подбора модели, сервиса и технических консультаций свяжитесь с ЛИКЛАБ по телефону или e-mail.
Официальный представитель ASAIR в России — лаборатория контроля герметичности ЛИКЛАБ (ООО «Лаборатория ВАКТРОН»). Поставка вакуумметров AGP, расходомеров AFM/AFS, техническое обслуживание, сервис и консультации по подбору и эксплуатации.