+7 (812) 715-00-17 Найти модель
AS200 ASAIR

ASAIR · AS200

Измерительная техника ASAIR

AS200 — контроллер массового расхода газа

AS200 — массовый регулятор расхода газа для точного измерения и управления расходом обычных технологических газов. Данные ниже переведены и структурированы по руководству производителя AS200, версия A2.

Скачать техническую карточку · PDFОбсудить подбор

Характеристики и совместимость проверяют для выбранного исполнения.

Технические характеристики AS200

Тип клапана Нормально закрытый
Газы калибровки/измерения Воздух, кислород O2, азот N2; аргон Ar, углекислый газ CO2
Диапазоны для воздуха/O2/N2 1-100, 2-200, 3-300 ст. см³/мин; 0,03-3, 0,05-5, 0,1-10, 0,2-20, 0,3-30, 0,5-50 ст. л/мин; 1-100, 2-200 ст. л/мин
Диапазоны для Ar/CO2 1-100, 2-200, 3-300 ст. см³/мин; 0,03-3, 0,05-5, 0,1-10, 0,2-20, 0,3-30 ст. л/мин; 0,5-50, 1-100 ст. л/мин
Точность ±1,0% заданного значения при ≥35% полной шкалы; ±0,35% полной шкалы при <35% полной шкалы; для части диапазонов ±1% полной шкалы
Линейность ±0,5% полной шкалы
Повторяемость ±0,2% полной шкалы
Время отклика 1 с или ≤2 с, в зависимости от исполнения
Рабочий перепад давления 0,05-0,35 МПа до 10 ст. л/мин; 0,1-0,35 МПа до 30 ст. л/мин; 0,2-0,45 МПа до 50 ст. л/мин; 0,2-0,45 МПа для 100-200 ст. л/мин
Температурный коэффициент Ноль: ≤±0,05% полной шкалы/°C; регулирование: ≤±0,1% полной шкалы/°C до 30 ст. л/мин, ≤±0,2% полной шкалы/°C выше 30 ст. л/мин
Прочность по давлению 3 МПа
Герметичность 1×10⁻¹⁰ Па·м³/с He или 1×10⁻⁹ Па·м³/с He, в зависимости от исполнения
Уплотнение Фторкаучук
Рабочая температура 5-45 °C
Питание +15-+28 В пост. тока
Входные сигналы RS-485 или EtherCAT; аналоговый 1-5 В пост. тока или 4-20 мА
Выходные сигналы RS-485 или EtherCAT; аналоговый 1-5 В пост. тока или 4-20 мА
Дрейф нуля <0,6% полной шкалы/год без коррекции нуля
Разъёмы процесса Двойное обжимное соединение φ3/φ6/φ10 мм, 1/8″, 1/4″, 3/8″, VCR 1/4″, штуцеры φ4/φ5/φ6 и A-Тип по исполнению
Электрический разъём D-sub 9 Контакт; для EtherCAT — соответствующие разъёмы EtherCAT
Масса Около 0,95 кг или около 2,56 кг, в зависимости от диапазона

Данные относятся к указанной модели или серии. Варианты диапазонов, питания и выходов выбирают по полному обозначению исполнения. Типичные значения сохраняют свой статус и не заменяют условия калибровки.

Особенности применения

Серия применяется для контроля и измерения массового расхода газа в технологическом оборудовании: эпитаксия, диффузионные процессы, плазменное травление, напыление, ионная имплантация, CVD, системы смешения и дозирования газа, газоотбор, капиллярные измерители и газовые хроматографы.

Рекомендуемое положение монтажа — горизонтальное. При вертикальной установке производитель рекомендует выполнить калибровку нуля. Перед установкой нужно проверить направление стрелки потока, использовать сухой чистый газ, избегать ударов и вибраций, а перед подачей коррозионных газов продувать прибор сухим инертным газом не менее 1 часа.

Техническая карточка на русском языке

Изображение AS200, технические параметры и контакты для подбора — в одном PDF-файле.

Скачать русскую техническую карточку · PDF

Все технические карточки · Найти другую модель

Подбор и интеграция

Укажите газ, диапазон регулирования, входное и выходное давление, управляющий сигнал и присоединение. Для клапана важно обеспечить требуемый перепад давления во всём рабочем диапазоне.

Параметры для технического запроса · Материалы по выбору оборудования

Написать специалистам ЛИКЛАБ · +7 (812) 715-00-17

Каталог Позвонить E-mail