Измерительная техника ASAIR

AS200S — серия контроллеров массового расхода газа

AS200S — массовый регулятор расхода газа с дисплеем LCD, поддержкой цифровых сигналов, аналогового входа/выхода 1-5 В и 4-20 мА, широким питанием +12-+36 В DC. Данные переведены по руководству производителя AS200S, апрель 2026.

Характеристики и совместимость проверяют для выбранного исполнения.

Технические характеристики AS200S

Тип клапана Нормально закрытый
Диапазоны для воздуха/O2/N2 1-100, 2-200, 3-300 ст. см³/мин; 0,03-3, 0,05-5, 0,1-10, 0,2-20, 0,3-30, 0,5-50 ст. л/мин; 1-100, 2-200, 3-300 ст. л/мин
Диапазоны для Ar/CO2 1-100, 2-200, 3-300 ст. см³/мин; 0,03-3, 0,05-5, 0,1-10, 0,2-20, 0,3-30 ст. л/мин; 0,5-50, 1-100 ст. л/мин
Точность ±1,2% заданного значения при ≥35% полной шкалы; ±0,5% полной шкалы при <35% полной шкалы; для части диапазонов ±2,5% полной шкалы
Линейность ±0,5% полной шкалы
Повторяемость ±0,8% полной шкалы
Время отклика ≤2 с или ≤3 с, в зависимости от исполнения
Рабочий перепад давления 0,05-0,35 МПа до 10 ст. л/мин; 0,1-0,35 МПа до 30 ст. л/мин; 0,2-0,45 МПа до 50 ст. л/мин; 0,25-0,45 МПа для 100-300 ст. л/мин
Температурный коэффициент Ноль: ≤±0,05% полной шкалы/°C; регулирование: ≤±0,1% полной шкалы/°C до 30 ст. л/мин, ≤±0,2% полной шкалы/°C выше 30 ст. л/мин
Прочность по давлению 3 МПа
Герметичность 1×10⁻¹⁰ Па·м³/с He или 1×10⁻⁹ Па·м³/с He, в зависимости от исполнения
Уплотнение Фторкаучук
Рабочая температура 5-45 °C
Питание +12-+36 В пост. тока
Дисплей LCD, поддержка 4 направлений отображения
Входные сигналы RS-485; аналоговый 1-5 В пост. тока или 4-20 мА; по заказу 1-10 В пост. тока
Выходные сигналы RS-485; аналоговый 1-5 В пост. тока или 4-20 мА; по заказу 1-10 В пост. тока
Дрейф нуля <0,6% полной шкалы/год без коррекции нуля
Электрический разъём D-sub 9 Контакт штекер
Масса Около 0,95 кг или около 2,56 кг, в зависимости от диапазона

Данные относятся к указанной модели или серии. Варианты диапазонов, питания и выходов выбирают по полному обозначению исполнения. Типичные значения сохраняют свой статус и не заменяют условия калибровки.

Особенности применения

Серия предназначена для точного контроля массового расхода газа в научных и производственных системах: полупроводниковые процессы, CVD, плазменное травление, напыление, ионная имплантация, специальные материалы, химические процессы, нефтехимия, фармацевтика, экологический контроль, вакуумные системы, газосмесительные и аналитические установки.

Прибор следует устанавливать в соответствии со стрелкой направления потока. Рекомендуется запорный клапан и фильтр на входной линии для защиты от загрязнений. До снятия защитных колпачков нужно подготовить чистую газовую линию. Для опасных газов обязательны продувка, вентиляция и проверка герметичности соединений.

Техническая карточка на русском языке

Изображение AS200S, технические параметры и контакты для подбора — в одном PDF-файле.

Скачать русскую техническую карточку · PDF

Все технические карточки · Найти другую модель

Подбор и интеграция

Укажите газ, диапазон регулирования, входное и выходное давление, управляющий сигнал и присоединение. Для клапана важно обеспечить требуемый перепад давления во всём рабочем диапазоне.

Параметры для технического запроса · Материалы по выбору оборудования

Написать специалистам ЛИКЛАБ · +7 (812) 715-00-17

Каталог Позвонить E-mail